产物系列

SACVD装备

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产物先容

SA-300T , SA-200T
12英寸 , 8英寸SACVD装备 

产物先容

SA-300T系列是我公司自立研发的次常压化学气相堆积(SACVD)装备,具有自立常识产权。SACVD反映腔搭载在已经由过程量产考证的高产能PECVD平台上,充实完成装备对产能的需要。该装备首要利用在STI、PMD/ILD等,知足Gap-fill的需要。


 
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