产物系列

Thermal ALD装备

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产物先容

FT-300T eX
12英寸Thermal ALD装备 

产物先容

FT-300T eX系列是我公司自立研发的热原子层堆积(Thermal Atomic Layer Deposition)装备,以高产能PEALD装备焦点手艺为根本,针对金属薄膜堆积的特别性,对反映腔模块及关头部件优化设想,完本钱钱更低,纯度更高的金属薄膜的堆积,可用于堆积AlOx/AlN/SnOx/TiN等多种金属薄膜资料。在7nm及以下制程中有着普遍的利用。


 
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