产物系列

PEALD装备

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产物先容

FT- 300T
12英寸ALD装备 

产物先容

FT-300T系列是我公司自立研发的原子层堆积(Atomic Layer Deposition)装备,ALD反映腔搭载在高产能的PECVD平台上,知足了对装备产能的需要,现已利用于进步前辈的芯片制作及进步前辈封装(TSV)范畴,同时针对14nm以下前道工艺(FEOL)停止研制开辟。现可供给具备高品质的PEALD,如SiO2、SiN薄膜,并连续开辟金属氧化物及金属氮化物等薄膜工艺。


 
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