产物系列

PECVD装备

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产物先容

PF-300T、PF-200T
12英寸 , 8英寸PECVD装备

产物先容

PF-300T为拓荆承当国度“十一五”严重专项,自立设想研发的产物系列。装备已用于40-28纳米集成电路的出产,具有14纳米及以下手艺的延展性,可完成一切相干介质薄膜的堆积。同时已延长至进步前辈膜手艺,产物涵盖了高刻蚀挑选比的ACHM硬掩膜、低介电常数的绝缘薄膜及NDC刻蚀反对层、超低介电常数的ULK薄膜,可知足客户多种手艺节点请求。


 
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