对于拓荆

成长过程

2020
2020年12月
获国际大厂进步前辈制程反复定单
展开UV Cure 研发,首台出货到客户端
客户端总流片量跨越1500万片
2020年11月
“十三五”国度严重专项经由过程验收
零件累计出货量跨越100台套
2020年09月
认定为“辽宁省企业手艺中间”

2019
2019年12月
泛半导体利用TFLITE研制胜利
2019年12月
获评国度常识产权树模企业
2019年12月
实现第四轮融资
2019年10月
获批设立“辽宁省博士立异理论基地”
2019年09月
SACVD研制胜利并出厂到客户端
2018
首台14nm硬掩膜 ACHM 机台出厂到客户端
2018年12月
12英寸ALD经由过程客户端14nm财产化考证
2018年10月
2017
首台量产型 HTM PECVD 出厂到客户端
2017年12月
PF-300T在中芯国际出产线量产流片冲破一百万片
2017年10月
实现第三轮融资
2017年8月
2016
拓荆新厂投入利用
2016年12月
“十一五”国度严重专项经由过程验收
2016年4月
首台12英寸ALD出厂到客户端
2016年3月
2015
获批“十三五”国度严重专项
2015年12月
实现第二轮增资,获国度集成电路财产投资基金计谋投资
2015年9月
PF-300T在中芯国际出产线冲破一万片
2015年3月
2014
获批组建“辽宁省薄膜设备工程研讨中间”
2014年12月
中芯国际首台量产机台PF-300T的设备定单
2014年8月
实现公司首轮增资
2014年5月
2013
PF-300T经由过程中芯国际产物线测试
2013年12月
首台12寸PF-300发卖
2013年4月
2012
推出12英寸多反映腔PF-300T设备
2012年12月
2011
首台12英寸PECVD出厂到中芯国际考证
2011年10月
获批扶植辽宁省半导体薄膜手艺设备工程手艺研讨中间
2011年8月
2010
沈阳拓荆科技无限公司建立
2010年4月
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